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KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實現清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。
在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風,適合短時間內傳遞大量氣體流的場合。
產品特點
減少工藝腔體排氣時的湍流
適用于多種工藝氣體
潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝
100% 完整性測試通過
技術參數
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