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恒歌高純高壓氣體專用過濾器是專為半導(dǎo)體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)設(shè)計的高性能過濾設(shè)備,過濾精度高,耐高壓耐腐蝕耐高溫!
恒歌工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是...
恒歌高壓氣體專用過濾器、用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合、兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)?..
恒歌氣體純化過濾器采用不銹鋼316L制成,通過物理吸附相結(jié)合的方法在常溫下將工藝氣體中的H20,O2,CO,CO2,NMHC等雜質(zhì)去除,并且在316L不銹鋼罐體中內(nèi)置了過濾精度為3納米到100微米的顆粒過濾器。
不銹鋼工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、...
?在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,芯片制程技術(shù)正朝著納米級甚至埃米級不斷突破。制造一枚指甲蓋大小的芯片,需要經(jīng)歷光刻、蝕刻、沉積等數(shù)百道精密工序,而每一道工序都離不開高壓高純氣體的參與。從用于刻蝕的氟基氣體,到用于沉積的硅烷氣體,這些氣體的純凈度直接決定...
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